仕様

分解能：0.7 nm (15 kV)、0.7 nm (1 kV)、
　　　　3.0 nm (5 kV、WD10 mm、5 nA)
倍率：×25～×1,000,000(SEM)
加速電圧：0.01 kV～30 kV
Thermofisher製 ツインEDS検出器 60 mm2×2

概要・性能

電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子、透過電子を用いて高分解能で観察することができる電子顕微鏡。低加速電圧高倍測定可能。高分解能。

利用料金

解析評価を主体とした依頼分析は受託研究として受付させていただきます。
　15,200円/時間
　オプション
　EDS：　5,000円/時間
　STEM： 5,000円/時間

利用の注意事項

磁性材料、揮発成分を含む試料は測定不可
初回利用時、もしくは特殊な測定を希望する際は申請書を提出してください。

利用の申請書

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機器設置部局

奈良工業高等専門学校
物質化学工学科

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