仕様

分解能
・高真空モード: 3 nm(30 kV *1) 4 nm(20 kV)、
　　　　　　　　8 nm(3 kV) 15 nm(1 kV)
・低真空モード*2: 4 nm(30 kV *1) 5 nm(20kV)
低真空圧力：10 ～ 100 Pa
最大試料寸法：150 mm径

概要・性能

電子ビームを対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子、透過電子を用いて高分解能で観察することが出来る電子顕微鏡。

利用料金

【自主分析】
　応相談
【依頼分析】
外出制限があるときのみ対応します（測定のみ）。
平時は自主分析のみ対応しております。
解析評価を主体とした依頼分析は受託研究として受付させていただきます。
　応相談

利用の注意事項

利用の申請書

機器設置部局

奈良工業高等専門学校
物質化学工学科

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