仕様

分解能：XY 0.2 nm、Z 0.01 nm
最大走査範囲（X・Y・Z）： 10μm×10μm×1μm（標準）

概要・性能

走査型プローブ顕微鏡 (そうさがたプローブけんびきょう、Scanning Probe Microscope; SPM) は、先端に据え付けた尖らせた探針を用いて、試料表面をなぞるように動かして表面の凹凸、形状などの表面状態を観察することができる顕微鏡の一種です。先 に紹介したFE-SEMなどは特にXY平面分解能が高いことが特徴ですが、SPMはZ分解能、すなわち高さ分解能が高いことが特徴です。
この高さ情報を読み取るプローブとして表面と探針先端で流れる微少なトンネル電流を利用した走査型トンネル顕微鏡(STM)や原子間力を利用した原子間力 顕微鏡(AFM)をはじめ、数多くの種類があります。本校所有のSPMは、コンタクトモードでの観察はもちろん、ダイナミックモード、STMモードを備えております。
これらの機構を用いて、位相、水平力(LFM)、フォースモデュレーション、フォースカーブ、電流、表面電位(KFM)、磁気力(MFM)、液中観察、電気化学in-situ観察など多彩な測定が可能となっております。

利用料金

【自主分析】
8,600円/時間
【依頼分析】
外出制限があるときのみ対応します（測定のみ）。
平時は自主分析のみ対応しております。
解析評価を主体とした依頼分析は受託研究として受付させていただきます。
8,600円/時間

利用の注意事項

カンチレバーは消耗品のため、場合により自己負担となることがあります

利用の申請書

機器設置部局

奈良工業高等専門学校
物質化学工学科

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