仕様

分解能：XY 0.2 nm、Z 0.01 nm
最大走査範囲（X・Y□×Z）
　2.5μmスキャナー： 2.5μm□×0.3μm（標準）
試料載台形状φ38mm×8mm

概要・性能

先端に据え付けた尖らせた探針を用いて、試料表面をなぞるように動かして表面の凹凸、形状などの表面状態を観察することができる顕微鏡。試料と探針の原子間にはたらく力を検出可能。
薄膜，結晶，半導体，有機材料等の試料に対し，大気中・液中においても真空中と同様の超高分解能で表面観察が可能。

利用料金

　9,900円/時間
解析評価を主体とした依頼分析は受託研究として受付させていただきます。

利用の注意事項

カンチレバーは消耗品ですので、場合により自己負担となることがあります

利用の申請書

機器設置部局

奈良工業高等専門学校
物質化学工学科

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